产品概述
一套设备，满足多种测量需求
不论您是想要知道薄膜厚度、光学常数，还是材料的反射率和透过率，SR20 都能满足您的需求。设备支持桌面式与在线测量，适用于平面或弯曲表面，尤其擅长半透明及低吸收系数薄膜的非接触检测，广泛服务于半导体、液晶显示、光学镀膜、生物医疗等领域。
不损伤样品
秒级测量速度
纳米级测量精度
极高性价比
应用范围广
产品特点
为高效测量而生
01
测量速度快且操作简便
得益于直观的软件界面，用户只需点击按钮，系统即可在数秒内完成测量并输出结果，适合生产线上的快速检测。设备安装简单，连接 USB 即可使用。
02
宽泛的测量范围与精度
根据不同型号配置，可测量从 15nm 到 100μm 的薄膜厚度，准确度可达 2nm 或厚度的 0.2%（取较大值），精度高达 0.02nm，满足高精度工艺监控需求。
03
模块化与多功能性
设备采用模块化设计，支持多种附件。可测量单层或多层膜堆、平面或曲面基底，甚至是液态或气态薄膜。用户可利用内置的包含 130 多种材料的数据库进行建模分析。
04
强大的分析软件与支持
厂商提供 24 小时电话和电子邮件技术支持，同时配备强大的数据处理和分析软件，方便用户在未连接设备的情况下处理数据。
行业应用
覆盖多个行业场景
SR20 膜厚仪适用于几乎所有光滑的、透明或半透明的、低吸收系数的薄膜——这几乎包括了所有的电介质与半导体材料。
半导体
消费电子
AR/VR
派瑞林
电路板与微电子
显示与光电行业
光学镀膜
生物医学与医疗器械
| 半导体与微电子 | 显示行业与光电 | 光学镀膜 | 生物医疗 |
|---|---|---|---|
| 光刻胶 SU-8 | PI | AR Coating | 派瑞林 |
| SiO₂ / Si₃N₄ | ITO | TiO₂ / SiO₂ | 心脏支架涂层 |
| 非晶硅/多晶硅 | 空气盒厚 | 滤光片 | 药物涂层 |
| 蚀刻速率与均匀性 | 有机电致发光材料 AlQ | 硬涂层（DLC） | 球囊导管表面涂层 |
产品规格参数
技术规格
| 产品规格参数 | SR20 | SR20-UV |
|---|---|---|
| 基本规格 | ||
| 波长范围 | 297nm - 1050nm | 194nm - 1050nm |
| 光源 | 卤钨灯 | 外置氘灯 + 卤钨灯 |
| 厚度测量范围* | 15nm - 100μm | 1nm - 100μm |
| 测量规格 | ||
| 准确度*（取较大者） | 2nm 或 0.2% | 1nm 或 0.2% |
| 测量精度 | 0.02nm | |
| 稳定性 | 0.05nm | |
| 光斑大小 | 1.5mm | |
| 测量速度 | 1s（单次测量） | |
| 灯泡寿命 | 1200 小时 | |
| 基本要求 | ||
| 电源 | 5V, 3A | |
| 通信接口 | USB Type-C | |
* 取决于材料