从"点测量"到"面测绘"
SR50 支持最大 450mm 样品，可快速获取薄膜厚度分布图。系统定位精准、响应迅速，平台具备高精度与长寿命特性，可稳定完成百万次以上测量。内置极坐标、矩形、线性等多种测量图形模式，并支持用户自定义点位图，仅需基本电脑操作即可在数分钟内完成测量方案配置。
高速自动化
大尺寸兼容
2D和3D测绘
简单易用
自动化测绘，高效可靠
高速自动化测绘
系统搭载电动 R-θ 极坐标载物台，可自动定位并完成高效测绘，测量速度达每秒 2 点，单点仅需 0.5 秒。内置极坐标、矩形、线性等多种测绘图案，并支持自定义点位图，测量点数量不限。
大尺寸样品兼容
系统支持最大直径 450mm 的晶圆或样品。配备可更换卡盘，适配 2 英寸至 450mm 多种规格，并兼容不规则形状样品及破片。载物台精度高、寿命长，可稳定执行数百万次测量。
2D和3D的测绘
强大的分析软件支持反射率、厚度、折射率等测量参数的测绘结果，并可通过 2D 或 3D 形式直观呈现。3D 测绘图支持多角度旋转检视，便于从各个视角全面分析薄膜分布特征。
操作简单便捷
采用 USB 连接、按钮即用，仅需基本电脑操作，数分钟内即可完成测量方案配置。内置 130 多种材料数据库，一键启动测量，大幅降低操作门槛。
SRMapper 测绘软件
直观易用的测绘分析软件，让薄膜厚度分布一目了然
一键式分析
专利算法，通常 1 秒内输出结果
材料数据库
内置 130 多种材料光学常数
内置测绘模式
极坐标、矩形、线性等预设图案
自定义点位
支持创建任意数量的测量点位
测量点位图自由绘制
只需通过简单的拖拽、点击或框选操作，就能在画布上自由绘制所需的测量点位图。无论是批量布置规则阵列点，还是灵活调整单个点的位置与属性，都可以像在白板上涂鸦一样轻松完成，大大节省操作时间。
2D和3D测绘
无论是反射率、厚度还是折射率的测量，SRMapper 均能以 2D 或 3D 方式直观呈现测绘结果。3D 测绘图支持任意角度检视，便于全面分析。
离线分析
免费提供离线分析软件。精细的历史数据功能，能帮助用户有效存储、重现与绘制测量结果；无需连接设备即可直接处理数据，使用更灵活。
应用领域广泛
SR50 凭借自动化测绘与高速测量能力，覆盖半导体、显示面板、光学镀膜及生物医疗等多个行业。
半导体与微电子
液晶与显示
光学镀膜
薄膜太阳能电池
通用工艺薄膜
消费电子
化合物半导体
生物医疗
| 半导体与微电子 | 显示行业与光电 | 光学镀膜 | 薄膜太阳能电池 |
|---|---|---|---|
| 压电薄膜（AlN、PZT） | 液晶间隙（Cell Gap） | AR Coating | CdTe 吸收层 |
| SiO₂ / Si₃N₄ | ITO | TiO₂ / SiO₂ | 非晶硅（a-Si） |
| 非晶硅/多晶硅 | 聚酰亚胺（PI） | 滤光片 | CIGS 吸收层 |
| 蚀刻速率与均匀性 | 有机电致发光材料 AlQ | 硬涂层（DLC） | 钙钛矿薄膜 |
| 通用工艺薄膜 | 消费电子 | 化合物半导体 | 生物医疗 |
|---|---|---|---|
| 光刻胶 | AV / VR | 氮化镓（GaN） | 生物芯片薄膜 |
| SU-8 厚光刻胶 | 外壳阳极膜 | 碳化硅（SiC） | 心脏支架涂层 |
| 聚对二甲苯（Parylene） | 防水涂层 | 砷化镓（GaAs） | 药物涂层 |
| 有机/无机复合薄膜 | 电路板 | 钽酸锂/铌酸锂（LiTaO₃/LiNbO₃） | 球囊导管表面涂层 |
技术规格
| 产品规格参数 | SR50 | SR50-UV |
|---|---|---|
| 测量规格 | ||
| 测量厚度范围* | 15nm - 100μm | 1nm - 100μm |
| 测量 r 和 k 值的最小厚度要求* | 100nm | |
| 波长范围 | 297nm - 1050nm | 194nm - 1050nm |
| 准确度* | 0.2% 或 2nm | 0.2% 或 1nm |
| 精度 | 0.02nm | |
| 稳定性 | 0.05nm | |
| 光斑大小 | 标准 1.5mm | |
| 测量速度 | 单点：1.8 秒 | |
| 硬件规格 | ||
| 光源及寿命 | 氙灯：2000H 钨卤素灯：1200H |
钨卤素灯：1200H |
| 样品尺寸 | 200mm 样品台：≤直径 200mm | 300mm 样品台：≤直径 300mm |
| 电源 | 100 - 240 VAC, 50 - 60 Hz, 100 Watts | |
| 尺寸 | 14W x 19D x 11H (in) / 35.5W x 48.3D x 28H (cm) | |
| 重量 | 35 lbs (16 kg) | |
| 软件与接口 | ||
| 接口 | USB 2.0 | |
| PC | Windows 10 - Latest Windows（64-bit） | |
| Mac | OS X Lion / Mountain Lion running Parallels | |
* 依材料而定