高精度、高性能的膜厚测量解决方案
采用光谱反射技术，可精确测量薄膜厚度与反射率。支持桌面式与在线测量，实现快速、无损、高性价比的薄膜监控。
晶圆级自动化薄膜厚度绘图系统，支持最大 450mm 样品，搭载 R-θ 极坐标移动平台，实现从"点测量"到"面测绘"的飞跃。
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